技 术 规 格 说 明
一，光刻机 SUSS MA6 ALIGNER 配置
01 设备基本配置:
-设备基于各机械部件、气动部件、电子器件组合而成。电力 230V-50/60Hz
-平台由X/Y/Theta 轴手动调节
-WEC 工艺平台
-手动上下 wafer，单片作业。
-对位视频信号通过显示屏显示。
-曝光应用:可作业 4、6 寸圆片
- 350W 紫外汞灯灯箱
02 对准方式：TSA
- X 方向电机移动，旋转方向手动
- Y 方向平台移动
03 曝光光源：350W 汞灯、350W 灯箱控制器
04 光路系统
-冷光镜 UV400
-聚光透镜
-前透镜
-傅里叶镜
-椭圆球面镜 UV400HP
05 4 寸 MASK HOLDER ，4 寸 CHUCK
06 曝光模式：soft & hard contact exposures
二、光刻机 SUSS MA6 工艺能力说明
1. 汞灯光强：
量测方式：光强通过 ORCUV-M03A 照度计量测，灯箱配置 350W 汞灯，灯箱开启稳定后，进行紫外光强测量。设备光照强度：光强在 15mw/cm²左右；
2. 光强均一性：
量测方式：使用 ORCUV-M03A 紫外照度计进行量测。测量点如下图：（5 点）
光强均一性：<±5%；
1. 曝光分辨率：
量测方式：光刻胶AZ 4512 光刻胶 1um 工艺验证：
验证条件： 胶厚 1um，烘烤条件为 90 度 3 分钟（烘箱烘烤），显影使用 AZ400K 或其配套显影液。验证要求：
1、显影后口尺寸可以满足 3um
2、套刻精度：1.5um.
三、SUSS MA6 安装条件及厂务
四、铭牌信息及外观照
