Varian Ion Implant Introduction
瓦里安植入系统是一个经过验证的平台，具有广泛的流程，为全球大型安装基地所采用。瓦里安系统不仅仅是一个生产工具，在未来的几年里，它还将为您的生产线做出贡献。
好处：
经生产验证的解决方案
行业最低CoO
高吞吐量
OEM集团提供以下服务：
单晶片加工
工具销售
升级
零件供应：消耗品和非消耗品
维修服务：补救和合同支持
交换和翻新：磁盘、电源
工具移动和安装
整修：现场大修
工程技术支持
加速柱
OEM集团拥有这些瓦里安产品的所有知识产权和产品管理：
中频：A200，DF/CF系列，350D，350DE，300XP
大电流：80-10、120-10、160-10、200-10、80XP、120XP、160XP
高频：400/500 XP、G1500、G1510
应用：
动力装置
记忆
逻辑
模拟
离散的
微机电系统
晶圆尺寸：100mm、125mm和150mm
中电流：350D
掺杂种类：B+、As+、P+
能量：35–200千伏
变量提取：10–35 keV
最大束流：1.5mA As+，P+；0.6mA B+
剂量范围：1E11至1E15 at/cm2
剂量均匀性：1σ<0.75%
剂量重复性：1σ<0.75%
